電子行業清洗用水應用范圍
電解電容器生產鋁箔及工作件的清洗。
電子管生產、電子管陰極涂敷碳酸鹽配液。
顯像管和陰極射線管生產、配料用純水。
黑白顯像管熒光屏生產、玻殼清洗、沉淀、濕潤、洗膜、管徑清洗用純水。
液晶顯示器的生產、平面需用純水清洗及純水配液。
晶體管生產中主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制。
集成電路生產中高純水清洗硅片、高品質顯像管、熒光粉生產。
半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路。
LCD、LED液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏。
高品質顯像管、熒光粉生產
半導體材料、晶元材料生產、加工、清洗
超純材料和超純化學試劑、超純化工材料
實驗室和中試車間
汽車、家電表面拋光處理
光電產品、其他高科技精微產品
電子行業清洗用水執行標準
《GBT11446-1997——電子級超純水中國國家標準》
《GB/T11446.1-1997——中國電子行業超純水國家標準》
歐盟電子級超純水標準
美國ASTM-1997E電子行業超純水標準
注明:其它標準均符合各行業清洗用水下屬內控用水標準
電子行業清洗用水工藝流程
電子行業清洗用水技術參數
電子級水EW-Ⅰ,EW-Ⅱ,EW-Ⅲ,EW-Ⅳ |
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電阻率: |
12.0 MΩ•cm(25℃) |
全硅≤50μg/L |
銅≤2μg/L |
鋅≤5μg/L |
鎳≤2μg/L |
鈉≤5μg/L |
鉀≤5μg/L |
氯≤10μg/L |
硝酸根≤5μg/L |
磷酸根≤5μg/L |
硫酸根≤5μg/L |
總有機碳≤200μg/L |
電子行業清洗用水安裝使用
設備運行的環境溫度在10~30℃水溫在25℃最佳
設備進出水口管線可根據客戶要求調整
現在指派專業人員進行指導使用流程